数字坩埚控制器
专利权的终止
摘要
本实用新型为数字坩埚控制器，与镀膜装置有关，解决已有坩埚控制器价格昂贵，不具通用性的问题。微控制器(1)与信号传输装置、驱动器(2)和传感器(3)连接，驱动器(2)的输出与步进电机(4)连接，步进电机(4)的输出轴与定位转盘(5)和坩埚(6)连接，传感器(7)位于定位转盘(5)的一侧与步进电机壳体或机架固连。
基本信息
专利标题 ：
数字坩埚控制器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720080861.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-08-31
授权号 ：
CN201102986Y
授权日 ：
2008-08-20
发明人 ：
付成洪谢亮刘伟锋魏杨薛尚清
申请人 ：
成都南光机器有限公司
申请人地址 ：
610100四川省成都市经济技术开发区星光西路115号成都南光机器有限公司
代理机构 ：
成都立信专利事务所有限公司
代理人 ：
冯忠亮
优先权 ：
CN200720080861.0
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C16/52 G05B15/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2017-10-24 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/54
申请日 : 20070831
授权公告日 : 20080820
终止日期 : 20160831
申请日 : 20070831
授权公告日 : 20080820
终止日期 : 20160831
2008-08-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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