一种双极化分割电极传感振动膜
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种双极化分割电极式传感振动膜,由由下至上的支撑层、下电极、压电薄膜和上电极组成;其特征在于,所述上电极包括相互分离的第一上电极和第二上电极,所述下电极为公共下电极,所述压电薄膜包括位于第一上电极正下方的第一压电薄膜区域,和位于第二上电极正下方的第二压电薄膜区域,所述第一压电薄膜区域与第二压电薄膜区域的极化方向相反,所述第一上电极和第二上电极分别作为整个振动膜的输入输出电极。本实用新型无需引出下电极,避免了刻蚀压电薄膜工艺,避免不同层跨接引线造成的断裂,提高器件的成品率;另外,本实用新型还能够提高传感振动膜的灵敏度。
基本信息
专利标题 :
一种双极化分割电极传感振动膜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720103548.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-02-09
授权号 :
CN201063346Y
授权日 :
2008-05-21
发明人 :
郝震宏乔东海汤亮田静
申请人 :
中国科学院声学研究所
申请人地址 :
100080北京市海淀区北四环西路21号
代理机构 :
北京泛华伟业知识产权代理有限公司
代理人 :
高存秀
优先权 :
CN200720103548.4
主分类号 :
H01L27/20
IPC分类号 :
H01L27/20 B06B1/06 G10K13/00 H04R17/00 H04R17/02
法律状态
2015-04-01 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101603317988
IPC(主分类) : H01L 27/20
专利号 : ZL2007201035484
申请日 : 20070209
授权公告日 : 20080521
终止日期 : 20140209
号牌文件序号 : 101603317988
IPC(主分类) : H01L 27/20
专利号 : ZL2007201035484
申请日 : 20070209
授权公告日 : 20080521
终止日期 : 20140209
2008-05-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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