一种并联式低温等离子体灭菌装置，涉及等离子体灭菌技术，包括金属容器、金属盖门、至少两片筛网状金属天线、至少两套射频电源和自适应射频耦合器、真空泵、真空波纹管、绝缘支撑块、金属层板、直流电极、直流电源、真空计、内部温度传感器、湿度传感器、光敏传感器、过氧化氢储藏瓶、蠕动泵、液位传感器、硅胶导管、过氧化氢挡板、含铅钢化玻璃观察窗、防压行程开关、金属容器加热套，外部温度传感器、过氧化氢挡板等装置。射频电源、直流电源与密封容器电连接，真空装置、过氧化氢注入装置经管道与密封容器相连通。本实用新型结构简单，灭菌彻底，时间短，无残留，无毒性、无腐蚀性，耗能低，金属和非金属器械均适用。