本发明提供一种低温等离子体灭菌设备，包括设备箱和设备主体，设备箱顶部固定有设备主体，设备箱内壁固定有第一安装板，第一安装板顶部固定有真空泵，真空泵的上端对称设有两个进油口，真空泵的下端设有一个出油口，设备箱内壁一侧固定有配电箱，设备箱内壁底部固定有移动机构，移动机构的动端固定有储油机构，设备箱内壁上端固定有加油箱，加油箱上端固定有加油阀，加油箱下端固定有第一管道，且第一管道与真空泵上的一个进油口连通。本发明减少保养次数，使得人工更换机油保养与更换油污过滤器可保持在相同的时间，减少人工保养的频率，并且方便人们对过滤后的杂质进行清理，防止过滤网堵塞，且方便对过滤网的清洗，便于人们使用。