低温等离子灭菌装置中等离子体的检测装置，涉及灭菌技术，包括金属密闭容器、筛网状天线、射频电源、射频电极、直流电源、直流电极、绝缘支架、真空系统、真空计、温度计、过氧化氢注入装置；还有光敏传感器，其设置在金属密闭容器内壁上，位于金属密闭容器内壁和筛网状天线之间；光敏传感器经连接线依次与金属密闭容器壳体外的比较器、控制装置、驱动装置电连接；驱动装置与射频电源、直流电源、真空系统和过氧化氢注入装置电连接。光敏传感器对所接收到的在金属密闭容器内壁和筛网状天线之间发生等离子体时产生的光线强度产生一电信号，发至比较器，比较器将该电信号的强度与一门槛值比较，若强度低于门槛值，即发出信号经控制装置、驱动装置驱动直流电源产生电弧，再通过驱动射频电源产生等离子体。