本实用新型涉及用激光标刻太阳能电池的装置，属于非晶硅薄膜太阳能电池加工领域。本实用新型以提高太阳能电池的标刻速度和精度为目的。技术特征在于由计算机程序控制X-Y轴精密电控平移工作台和激光振镜扫描系统分时工作。当X-Y平移时，固定在Z轴轨道上的激光振镜扫描停止。激光振镜扫描系统的反射镜由振镜电机控制其偏转角度，而振镜电机的偏转是由计算机通过D/A卡来控制，使聚光斑按照计算机设定的图性、文字、及直线轨迹运行。其效果，高速大幅面标刻非晶硅薄膜太阳能电池，最大线速度400m/min，复杂图形。机械平台重量及运行速度不会影响微小标刻路径的精度，生产效率高，成本低。