移载装置
专利权的终止
摘要

一种移载装置,包括:一本体,其内部设置有一传动机构;二个第一承载臂及二个第二承载臂,它们设置于本体前端且连接传动机构;其中二个第二承载臂位于二个第一承载臂之间,并受传动机构驱动使二个第二承载臂彼此靠近且并排结合,或使二个第二承载臂分别往二侧位移,以各自与一个第一承载臂靠近且并排结合。所述移载装置的承载臂可调整为两列或三列并排,以克服更换运送机器人所造成的更换麻烦且高成本的缺失。

基本信息
专利标题 :
移载装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720128423.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-05
授权号 :
CN201084720Y
授权日 :
2008-07-09
发明人 :
梁敬文
申请人 :
盟立自动化股份有限公司
申请人地址 :
台湾省新竹市科学工业园区研发二路三号
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
任永武
优先权 :
CN200720128423.7
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2013-11-06 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101534131286
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2007201284237
申请日 : 20070905
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20120905
2008-07-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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