全自动往复式宽幅X射线薄膜测厚仪
专利权的终止
摘要
一种用于宽幅薄膜厚度在线动态测量的测厚仪器，采用X射线作为发射源，通过接收端接收，PLC采集接收信号用于处理。上位机显示薄膜厚度变化的实时曲线通过模头控制器在线实时调整螺栓加热功率，实现薄膜厚度趋于平均。该测厚仪响应速度快，精度高，且安全可靠。
基本信息
专利标题 ：
全自动往复式宽幅X射线薄膜测厚仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720151709.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-06-22
授权号 ：
CN201094009Y
授权日 ：
2008-07-30
发明人 ：
靳其兵
申请人 ：
北京化工大学
申请人地址 ：
100029北京市朝阳区北三环东路15号
代理机构 ：
北京金富邦专利事务所有限责任公司
代理人 ：
孙伯庆
优先权 ：
CN200720151709.7
主分类号 ：
G01B15/02
IPC分类号 ：
G01B15/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B15/00
以采用波或粒子辐射为特征的计量设备
G01B15/02
用于计量厚度
法律状态
2012-08-29 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101317517740
IPC(主分类) : G01B 15/02
专利号 : ZL2007201517097
申请日 : 20070622
授权公告日 : 20080730
终止日期 : 20110622
号牌文件序号 : 101317517740
IPC(主分类) : G01B 15/02
专利号 : ZL2007201517097
申请日 : 20070622
授权公告日 : 20080730
终止日期 : 20110622
2008-07-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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