一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备,涉及激光切割技术领域。所述刻划设备包括X轴运动系统、X轴基座、Y轴运动系统、Y轴基座、工装、立柱和光路系统,工装安装在Y轴运动系统上,Y轴运动系统安装在Y轴基座上,光路系统安装在X轴运动系统上,X轴运动系统安装在X轴机座上,X轴机座通过安装于Y轴机座的立柱横跨安装于Y轴机座上方,还包括左CCD定位系统、右CCD定位系统、左切割头和右切割头,左CCD定位系统和右CCD定位系统以一间距平行固定在X轴基座上,左切割头和右切割头都位于工装上方且都平行安装在X轴运动系统上。本实用新型能够满足工艺要求且刻划精度高,提高了产品的稳定性,节约了成本。

基本信息
专利标题 :
一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720171005.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-11-19
授权号 :
CN201130671Y
授权日 :
2008-10-08
发明人 :
高云峰吴志宏李世印刘义军王文倪鹏玉程文胜陈明金
申请人 :
深圳市大族激光科技股份有限公司
申请人地址 :
518057广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路8号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200720171005.6
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  B23K26/36  
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法律状态
2017-12-26 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20071119
授权公告日 : 20081008
2011-03-09 :
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101072679478
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利申请号 : 2007201710056
专利号 : ZL2007201710056
合同备案号 : 2011440020004
让与人 : 深圳市大族激光科技股份有限公司
受让人 : 深圳市大族光伏科技股份有限公司
实用新型名称 : 一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备
申请日 : 20071119
授权公告日 : 20081008
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20110114
2008-10-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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