多光束激光刻划装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多光束激光刻划装置，包括：激光器，用于产生激光光束；扩束镜，用于对所述激光光束进行准直扩束，以形成准直光束；偏振分光棱镜，用于对所述准直光束进行分光处理，以形成第一光束、第二光束；第一分束器，用于对所述第一光束进行分束以产生若干第一子光束；第一聚焦场镜，用于对若干所述第一子光束进行聚焦；全反射镜，用于调节所述第二光束的传播路径；第二分束器，用于对所述第二光束进行分束以产生若干第二子光束；第二聚焦场镜，用于对若干所述第二子光束进行聚焦。本实用新型的多光束激光刻划装置以对产品进行加工，可实现对单台激光器所产生的激光进行分束，以分成若干束相同激光束以对产品同时进行激光加工。
基本信息
专利标题 ：
多光束激光刻划装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020550607.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-14
授权号 ：
CN212350787U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
周宇超林国栋赵盛宇何颖波毛俊波周毅
申请人 ：
深圳市海目星激光智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区环观南路26号101
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
黄广龙
优先权 ：
CN202020550607.8
主分类号 ：
B23K26/362
IPC分类号 ：
B23K26/362 B23K26/064 B23K26/067
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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