二维运动平台

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种直线电机驱动的二维运动平台，该运动平台包括：Y平台、安装在Y平台上的X平台、及安装在X平台上的工作台，X平台包括驱动工作台在X平台上运动的直线电机及支撑工作台的直线导轨，Y平台包括驱动X平台在Y平台上运动的直线电机及支撑X平台的直线导轨。X平台进一步包括配置于直线电机定子上方的磁屏蔽板。通过采用上述结构，X平台定子磁场被有效屏蔽，从而减小了电机漏磁对加工工件的可能影响；Y平台负载及负载位置的变化被分配至两个或多个电机，从而减小了由于结构配置或负载变化引起的动态误差。

基本信息

专利标题：

二维运动平台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720189854.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-10-12

授权号：

CN201112370Y

授权日：

2008-09-10

发明人：

高云峰廖有用周尔清王光能付晓辉

申请人：

深圳市大族精密机电有限公司

申请人地址：

518057广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200720189854.4

主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/68 H01L21/683 G12B9/10 G12B5/00 H02K41/02 H05K9/00

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/68

用于定位、定向或对准的

法律状态

2012-12-12 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101364917739
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2007201898544
申请日 : 20071012
授权公告日 : 20080910
终止日期 : 20111012

2010-12-22 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101055187688
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2007201898544
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳市大族精密机电有限公司
变更后 : 深圳市大族电机科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518057 广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路8号
变更后 : 518057 广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路8号

2008-09-10 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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