修整环型智能超精密抛光机

专利权的终止

摘要

一种修整环型智能超精密抛光机，包括机座、抛光盘、驱动电机、测速机构以及智能控制平台、盘通过主轴安装在机座上，所述驱动电机的输出轴与主轴传动连接，主轴与测速机构传动连接，智能控制平台连接驱动电机和测速机构，超精密抛光机还包括修整环、修整环保持架，修整环内安装用于夹装工件的基盘，修整环位于所述抛光盘的上方，修整环保持架安装在机座上，修正环保持架设有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段的两端设有摩擦轮，所述的修整环嵌入所述弧形段并靠接在两个摩擦轮上，且所述修整环与所述弧形段之间有间隙。本实用新型能够实现在线修整抛光盘的平面精度、获得很高的平面加工精度、加工周期短。

基本信息

专利标题：

修整环型智能超精密抛光机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720192349.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-10-26

授权号：

CN201115926Y

授权日：

2008-09-17

发明人：

袁巨龙吕冰海陈锋邓乾发赵文宏

申请人：

浙江工业大学;杭州智邦纳米技术有限公司

申请人地址：

310014浙江省杭州市下城区朝晖六区浙江工业大学

代理机构：

杭州天正专利事务所有限公司

代理人：

王兵

优先权：

CN200720192349.5

主分类号：

B24B29/00

IPC分类号：

B24B29/00 B24B53/12 B24B47/12