本实用新型主要涉及用于制药、食品、化工行业中对物料的灭菌干燥设备，尤其涉及与一种隧道式复合干燥灭菌机。其包括有传送装置(1)，其特点是还包括有于在所述的传送装置(1)的周围设有臭氧灭菌装置(2)、微波加热装置(4)和蒸汽加热装置(7)。其将臭氧技术和微波技术有效的结合应用，使物料先经过臭氧灭菌之后进入微波加热区域，在微波加热区域内设有蒸汽加热装置，或在微波加热区域之后设有蒸汽加热，使物料内部在干燥灭菌的同时保持了一定的湿度，对物料也起到一个补干的作用，使物料干燥、灭菌的速度快、均匀性好，适用于化工、食品、制药等领域中的物料干燥、灭菌、熟化等方面的应用。