一种芯片显微拍摄系统
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种芯片显微拍摄系统，包括一用于拍摄芯片的显微镜以及一与显微镜连接的电动台，还包括一加载于显微镜上的电荷耦合器件CCD以及一分别控制所述的电荷耦合器件CCD和所述电动台的计算机。本实用新型通过在现有的显微镜上加载电荷耦合器件CCD将采集的图像转为数字信号后传输给计算机进行处理，通过控制显微镜X轴、Y轴和Z轴对芯片进行实时采集及显示，并且根据需要进行保存，提高了芯片拍摄的精度并且有利于集成电路的分析。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片显微拍摄系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820055357.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-02-02
授权号 ：
CN201199283Y
授权日 ：
2009-02-25
发明人 ：
钟琪
申请人 ：
上海芯索芯片分析技术有限公司
申请人地址 ：
200235上海市钦州路100号2楼608室、609室
代理机构 ：
上海兆丰知识产权代理事务所
代理人 ：
章蔚强
优先权 ：
CN200820055357.X
主分类号 ：
G02B21/36
IPC分类号 ：
G02B21/36 G02B21/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/36
照相或投影用的布置
法律状态
2018-03-02 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G02B 21/36
申请日 : 20080202
授权公告日 : 20090225
申请日 : 20080202
授权公告日 : 20090225
2009-02-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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