本实用新型提供了一种用于太阳电池片氮化硅膜致密性测量的载片，该载片为方形薄片，中间设有一个用于放置电池片的方形凹槽。本实用新型的载片用于太阳电池片氮化硅膜致密性测量时，是将太阳电池片固定放置在载片的凹槽内，然后用可伸缩的钩子插入载片的两个挂钩孔内勾住载片，再一起放入一个盛有HF溶液的方形容器内进行腐蚀，可以清晰地观察到膜色的变化，能够很直观的判断太阳电池片氮化硅膜致密性的好坏。