本实用新型公开了一种温度湿度复合传感器。该温度湿度复合传感器包括用于获取原始信号的一次仪表和进行原始信号处理的二次仪表，所述一次仪表是MEMS温度湿度传感器检测模块，所述二次仪表包括微控制器模块、分别与微控制器模块相连的信号处理模块和存储模块，MEMS温度湿度传感器检测模块与所述信号处理模块相连，电源模块向一次仪表和二次仪表供电。与现有技术相比，本实用新型能同时对环境的温度和湿度进行测量，具有快速的响应时间、高灵敏度和高度可靠性，封装灵活，可用于多种环境下的温度和湿度测量，并且功耗低，成本低。