本实用新型提供一种消相干匀场装置，包括漫反射板、全反射腔以及匀化透镜。本实用新型利用光束引导装置将待处理光束导向漫反射板，待处理光束经漫反射板漫反射后形成多束散射光。上述多束散射光在全反射腔内以各自不同的传播路径在全反射腔侧壁一次或多次全反射，彼此间的光程差被随机调制，互不相干，因此从全反射腔的出射端口出射的光束为非相干光，然后该非相干光再经过匀化透镜在目标区域形成光照度均匀分布的光束。另外本实用新型还可采取机械手段使得待处理光束在漫反射板上的入射点时刻变换，以提升消相干的效果。