卧式斜槽石英舟

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及“卧式斜槽石英舟”，属于石英制品领域。一种卧式斜槽石英舟，包括两根以上的开槽棒及连接棒，开槽棒上对应位置的槽位于同一圆面内，其特征在于：所述开槽棒上的槽方向与竖直方向成一夹角，其槽是斜的，而不是常规的竖直，所以晶片放置在斜槽内，其在舟内的倒向一致，晶片间隙一致，使氧化扩散均匀性、一致性得到改善。

基本信息

专利标题：

卧式斜槽石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820122761.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-26

授权号：

CN201266600Y

授权日：

2009-07-01

发明人：

张忠恕杨继盛孙超群康海霞刘增李翔星吕炳益陈强刘文静卢爱国

申请人：

北京凯德石英塑料制品有限公司

申请人地址：

101109北京市通州区漷县工业开发区漷兴三街5号

代理机构：

北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司

代理人：

张涛

优先权：

CN200820122761.4

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2018-10-23 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20080926
授权公告日 : 20090701

2009-07-01 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201266600Y.PDF

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