本实用新型公开了一种内传输轮轨导引结构，其在一应用于真空溅镀的腔体内设置框架，该框架二侧枢组有若干轮轴，并于各该轮轴上套设有二滚轮，所有位于该框架上的滚轮呈行列状平行对齐排列，可被一传动机构传动而旋转，用以带动一置于其上的载盘作传输位移，各该滚轮沿其圆周方向的轮面形成有一定位部，而该载盘背面对应这些呈行列状平行对齐排列的滚轮的位置，形成有对应其行列数目及定位部形状的嵌置部，该载盘放置于这些滚轮上，该嵌置部与这些定位部作嵌设结合。当该载盘放置于这些滚轮上时，通过各该嵌置部与这些定位部作嵌设结合，令该载盘的移动具有导引效果，以确保该载盘传输行程的平稳度与安定性。