一种定点锁固式内传输框架结构
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种定点锁固式内传输框架结构,该结构在真空溅镀作业的腔体内锁固一框架,且该框架锁固于腔体内时,其锁固位置限于其框缘的四角隅处。即该腔体内底部四角落适当处各凸设一锁置座,而该框架对应该四个锁置座的位置,则各贯穿形成一第一锁孔,用以供若干定位调整单元一端分别穿设第一锁孔而锁固于锁置座处。该框架于两侧底部前后的第一锁孔间,另等间隔形成有若干第二锁孔,各第二锁孔处可分别供一调整螺丝螺设,作为框架水平调整之用,并于水平调整完毕后,利用螺帽锁紧固定其水平高度。本实用新型不仅精简了框架锁固的作业,方便了框架的水平调整,更能改善框架承受真空压力的结构性。

基本信息
专利标题 :
一种定点锁固式内传输框架结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820129482.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-08-18
授权号 :
CN201272829Y
授权日 :
2009-07-15
发明人 :
黎瑞海
申请人 :
凌嘉科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台中市
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
许 静
优先权 :
CN200820129482.0
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2012-10-31 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101339150103
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2008201294820
申请日 : 20080818
授权公告日 : 20090715
终止日期 : 20110818
2009-07-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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