极紫外波段发射效率测量装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要
一种极紫外波段发射效率测量装置，该装置的结构包括：沿极紫外光前进方向依次是铝膜、水平狭缝、第一柱面金镜、第二柱面金镜、平面金镜、竖直狭缝、平场光栅、X射线CCD和计算机，该装置的优点是：采用计算机采集和处理数据，迅速准确；灵敏度高可实现单次测量；成像系统和光栅可有效滤除杂散光，结果精确度高；可单独对5-40纳米波长范围内任意波段的效率进行测量。
基本信息
专利标题 ：
极紫外波段发射效率测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820150877.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-07-16
授权号 ：
CN201251487Y
授权日 ：
2009-06-03
发明人 ：
蔡懿王文涛夏长权刘丽邹璞刘建胜李儒新
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 ：
上海新天专利代理有限公司
代理人 ：
张泽纯
优先权 ：
CN200820150877.9
主分类号 ：
G01J11/00
IPC分类号 ：
G01J11/00 G01J3/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J11/00
测量单个光脉冲或光脉冲序列的特性
法律状态
2009-12-02 ：
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 2008716
2009-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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