水平炉管的炉门封闭装置

专利权的终止

摘要

本实用新型属于微电子装备领域，具体涉及一种水平炉管的炉门封闭装置。本实用新型所公开的水平炉管的炉门封闭装置包括：带有三个或三个以上支撑柱的炉门、与炉门上的支撑柱连接的支撑柱调节装置以及穿通于炉门的桨。通过调节支撑柱调节装置，炉管与水平炉管的端口较好地平面啮合，因此能达到较好的密封效果。同时，也保证了炉门与水平放置的桨的垂直度，避免桨和桨和桨所穿过的炉门上的方形孔之间的磨损，提高炉门封闭系统的密封效果，并提高炉门封闭系统的使用寿命。

基本信息

专利标题：

水平炉管的炉门封闭装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820152584.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-02

授权号：

CN201302377Y

授权日：

2009-09-02

发明人：

王刚狄宝山徐国利

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200820152584.4

主分类号：

F27D1/18

IPC分类号：

F27D1/18 H01L21/22

IPC结构图谱

F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破

F27

炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉

F27D

一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件

F27D

一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件

F27D1/00

外壳；衬炉；壁；炉顶

F27D1/18

门框；门、盖、活动盖板

法律状态

2018-09-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : F27D 1/18
申请日 : 20080902
授权公告日 : 20090902

2013-03-13 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101529408475
IPC(主分类) : F27D 1/18
专利号 : ZL2008201525844
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100076 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130204

2009-09-02 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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