抽气装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种抽气装置，包括第一壳体、管道及抽气机。第一壳体配置于传送接口的侧面及底面周围。第一壳体与传送接口的侧面之间形成抽气信道，且第一壳体具有至少一抽气口。管道连接至少一抽气口。抽气机连接管道。当晶圆盒置于传送接口的底面时，抽气装置经由抽气信道及管道抽出晶圆盒中的晶圆上的挥发气体。

基本信息

专利标题：

抽气装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820153823.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-08

授权号：

CN201315315Y

授权日：

2009-09-23

发明人：

刘克峰刘晓兵

申请人：

和舰科技(苏州)有限公司

申请人地址：

215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

陈亮

优先权：

CN200820153823.8

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

法律状态

2017-11-24 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20081008
授权公告日 : 20090923
终止日期 : 20161008

2009-09-23 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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