带空气隔离阀的电离真空计装置

专利权的终止

摘要

一种带空气隔离阀的电离真空计装置，属于气压测量技术领域。电离真空计装置用于测量气腔室的真空状态气压，所述电离真空计装置包括电离真空计、空气隔离阀以及连接所述空气隔离阀与电离真空计的第一气管。空气隔离阀的关闭能使电离真空计与气腔室隔离，从而能防止电离真空计不受非真空状态的被测气腔室中的制程气体污染，提高电离真空计的使用寿命。本实用新型提供的电离真空计装置具有使用寿命长度特点。

基本信息

专利标题：

带空气隔离阀的电离真空计装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820154252.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-21

授权号：

CN201281644Y

授权日：

2009-07-29

发明人：

何刘祥超杨小军黄涛

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200820154252.X

主分类号：

G01L21/30

IPC分类号：

G01L21/30 G01L21/32

相关图片

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01L

测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力

G01L21/00

真空计

G01L21/30

利用电离效应的

法律状态

2018-11-13 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : G01L 21/30
申请日 : 20081021
授权公告日 : 20090729

2013-02-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101521796115
IPC(主分类) : G01L 21/30
专利号 : ZL200820154252X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130123

2009-07-29 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201281644Y.PDF

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