载物台装置及涂敷处理装置

授权

摘要

本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。

基本信息

专利标题：

载物台装置及涂敷处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN102358516A

申请号：

CN201110164551.8

公开（公告）日：

2012-02-22

申请日：

2006-01-19

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

稻益寿史山崎刚宫崎一仁

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

田*

优先权：

CN201110164551.8

主分类号：

B65G49/06

IPC分类号：

B65G49/06 H01L21/677 C03C17/00