超声波清洗方法及装置

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摘要

本发明涉及超声波清洗方法及装置，所述该超声波清洗方法：应用于主要由超声波换能器(100)和待清洗板(200)构成的超声清洗装置，超声波换能器(100)和待清洗板(200)之间设置有薄层，其特征在于，包括以下步骤：由超声波换能器(100)产生振动，并向薄层内的气液混合物辐射，使薄层内的气液界面产生冲刷射流，从而形成对待清洗板(200)表面的切向冲刷清洗。本发明目的是通过气液面的波动，使得待清洗板进行清洗，而不是采用空化效应或者高速振动和剪切效应。

基本信息

专利标题：

超声波清洗方法及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN106513376A

申请号：

CN201610939978.3

公开（公告）日：

2017-03-22

申请日：

2016-10-31

授权号：

CN106513376B

授权日：

2022-05-31

发明人：

白立春高艳东陶志勇吴鹏飞白立新林伟军李超徐德龙

申请人：

辽宁工程技术大学;中国科学院声学研究所

申请人地址：

辽宁省阜新市中华路47号

代理机构：

北京亿腾知识产权代理事务所

代理人：

陈霁

优先权：

CN201610939978.3

主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/12