输送系统和输送方法
授权
摘要
本发明提供输送系统和输送方法。输送系统具备轨道、多台高架输送车以及输出针对高架输送车的输送FOUP的输送指令的输送控制器。在载置于下游侧端口的第一FOUP处于待回收状态且在上游侧端口未载置有FOUP的情况下，在第一FOUP已变为待回收状态之后到经过预定的待机时间之前，输送控制器使指示回收第一FOUP的输送指令的输出待机，直至向上游侧端口输送第二FOUP的高架输送车被掌握为止，在从第一FOUP已变为待回收状态的时间点起经过了待机时间的情况下，输送控制器输出指示回收第一FOUP的输送指令。
基本信息
专利标题 ：
输送系统和输送方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108352348A
申请号 ：
CN201680062776.3
公开（公告）日 ：
2018-07-31
申请日 ：
2016-10-13
授权号 ：
CN108352348B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
本田修山田启二野沢高志小野大辅
申请人 ：
村田机械株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
舒艳君
优先权 ：
CN201680062776.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2018-08-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20161013
申请日 : 20161013
2018-07-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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