用于快速自动确定用于高效计量的信号的系统、方法及计算机程...
授权
摘要

本发明提供一种用于选择将利用计量工具而测量的信号的系统、方法及计算机程序产品,所述计量工具优化所述测量的精度。技术包含模拟用于测量计量目标的一或多个参数的信号集合的步骤。产生对应于所述信号集合的正规化雅可比矩阵,基于所述正规化雅可比矩阵来选择所述模拟信号集合中的信号子集,所述信号子集优化与测量所述计量目标的所述一或多个参数相关联的性能度量,且利用计量工具来收集所述计量目标的所述信号子集中的每一信号的测量。对于由所述计量工具收集的给定数目个信号,与收集遍及一系列过程参数均匀地分布的信号的常规技术相比,此技术优化此类测量的精度。

基本信息
专利标题 :
用于快速自动确定用于高效计量的信号的系统、方法及计算机程序产品
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108291868A
申请号 :
CN201680070555.0
公开(公告)日 :
2018-07-17
申请日 :
2016-12-08
授权号 :
CN108291868B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
A·吉里纽A·库兹涅佐夫J·亨奇
申请人 :
科磊股份有限公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 :
张世俊
优先权 :
CN201680070555.0
主分类号 :
G01N21/21
IPC分类号 :
G01N21/21  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-04-12 :
授权
2018-12-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20161208
2018-07-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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