流体控制装置

授权

摘要

一种流体控制装置，包含：压电致动器包括悬浮板；外框；支架；压电元件；壳体包括出口板及底座，出口板供压电致动器设置于其中，底座包括入口板及共振片，入口板具有相连通于外的汇流腔室，共振片设置固定于入口板上，并具有中空孔洞；胶体设置于压电致动器之外框与底座的共振片之间，以维持压电致动器与底座的共振片之间具有间隙；其中，悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成，且具有一受热变形保持弯曲的硬度，以及悬浮板与共振片的线膨胀系数不同，以让悬浮板与共振片之间之间隙得到一特定变形位移量。

基本信息

专利标题：

流体控制装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN108278196A

申请号：

CN201710006875.6

公开（公告）日：

2018-07-13

申请日：

2017-01-05

授权号：

CN108278196B

授权日：

2022-05-17

发明人：

黄哲威陈世昌廖家淯韩永隆黄启峰

申请人：

研能科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

喻学兵

优先权：

CN201710006875.6

主分类号：

F04B45/047

IPC分类号：

F04B45/047 H02N2/02 H02N2/04