流体控制装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种流体控制装置,包括:安装底座,内设有气体通道,安装底座的一端为气体通道入口端,安装底座的另一端为气体通道出口端;前端压力传感器、流量传感器、控制阀和后端压力传感器沿气体通道入口端至气体通道出口端方向依次设置在安装底座上;前端压力传感器用于检测气体通道入口端的第一气体压力值,流量传感器用于检测气体通道内的气体流量值,控制阀用于控制流过气体通道的气体流量,后端压力传感器用于检测气体通道出口端的第二气体压力值;控制板与前端压力传感器、流量传感器、控制阀和后端压力传感器连接。实现提高对气体压力的控制精度和测控准确度。

基本信息
专利标题 :
流体控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121483761.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-06-30
授权号 :
CN216351959U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
武旭东苏乾益邹义涛
申请人 :
北京七星华创流量计有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号院1号楼4层4S01
代理机构 :
北京思创毕升专利事务所
代理人 :
孙向民
优先权 :
CN202121483761.9
主分类号 :
G05D7/06
IPC分类号 :
G05D7/06  F16K31/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D7/00
流量控制
G05D7/06
以使用电装置为特征的
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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