具有气体回收功能的准分子激光振荡装置
授权
摘要
本发明的目的是将从包含准分子激光振荡装置所使用的稀有气体(例如氩气、氙气、氪气等)的废气中除去杂质的除去功能设置在准分子激光振荡装置的系统内。本发明提供一种具备气体回收功能的准分子激光振荡装置，在准分子激光振荡装置的系统内具备振荡室和第一杂质除去装置，所述振荡室在内部填充有激光气体，所述激光气体具有卤素气体、稀有气体和缓冲气体，所述第一杂质除去装置将从所述振荡室排出的废气中的杂质除去。
基本信息
专利标题 ：
具有气体回收功能的准分子激光振荡装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108939868A
申请号 ：
CN201810464474.X
公开（公告）日 ：
2018-12-07
申请日 ：
2018-05-09
授权号 ：
CN108939868B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
小浦辉政松本幸二野泽史和筿原悠介
申请人 ：
乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
申请人地址 ：
法国巴黎
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
段承恩
优先权 ：
CN201810464474.X
主分类号 ：
B01D53/75
IPC分类号 ：
B01D53/75 B01D53/32 C01B23/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/75
多步骤方法
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-06-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 53/75
申请日 : 20180509
申请日 : 20180509
2018-12-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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