本发明实施例公开了一种设备自检的方法、装置、ATM及存储介质，所述方法包括：在检测到探测单元自检指令时，控制设备中至少一个探测单元中的发射端发射至少一个探测信号，根据所述探测信号和至少一个探测单元中的接收端接收的与探测信号匹配的接收信号，确定至少一个探测单元的单元灵敏度信息，单元灵敏度信息包括：发射端的至少一个灵敏度信息，和/或接收端的至少一个灵敏度信息；按照灵敏度等级分布规则中记录的运算规则，对至少一个探测单元的单元灵敏度信息进行运算，并在确定运算结果与所述灵敏度等级分布规则不匹配时，确定探测单元自检失败。本发明实施例的技术方案设备的智能化和自动化检测，进而提高自检效果。