一种DNA碱基序列检测的纳米孔三明治结构及其制作方法
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摘要
本发明提供一种DNA碱基序列检测的纳米孔三明治结构及其制作方法。首先在基体两侧表面沉积Si3N4/SiO2/Si3N4三层纳米薄膜；接着刻蚀基体一侧薄膜形成基板释放窗口；接着刻蚀基体另外一侧薄膜中的顶层Si3N4；然后使用碱性溶液从基体释放窗口刻蚀基板得到由Si3N4/SiO2两层纳米薄膜组成的自支撑纳米薄膜。接着在SiO2上方沉积Si3N4，再次得到悬空的纳米薄膜结构，退火，使用氦离子束刻蚀出纳米通孔；最后使用缓冲过的氢氟酸刻蚀SiO2，得到由SiO2空腔和两个Si3N4纳米孔组成的三明治结构。本发明工艺简单，与CMOS工艺的兼容使其有较好的扩展性，同时可以重复循环使用，有较广的使用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种DNA碱基序列检测的纳米孔三明治结构及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109182484A
申请号 ：
CN201811044329.2
公开（公告）日 ：
2019-01-11
申请日 ：
2018-09-07
授权号 ：
CN109182484B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
袁志山俞骁凌新生
申请人 ：
南京罗岛纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区科学园芝兰路18号
代理机构 ：
南京钟山专利代理有限公司
代理人 ：
戴朝荣
优先权 ：
CN201811044329.2
主分类号 ：
C12Q1/6869
IPC分类号 ：
C12Q1/6869 C23C16/34 C23C16/40
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C12
生物化学；啤酒；烈性酒；果汁酒；醋；微生物学；酶学；突变或遗传工程
C12Q
包含酶、核酸或微生物的测定或检验方法；其所用的组合物或试纸；这种组合物的制备方法；在微生物学方法或酶学方法中的条件反应控制
C12Q1/64
•地质微生物试验，如用于石油
C12Q1/68
包括核酸
C12Q1/6869
测序方法
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-12-18 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : C12Q 1/6869
登记生效日 : 20201204
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 南京罗岛纳米科技有限公司
变更后权利人 : 苏州罗岛纳米科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 210008 江苏省南京市江宁区科学园芝兰路18号
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号中科院纳米所D栋918室
登记生效日 : 20201204
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 南京罗岛纳米科技有限公司
变更后权利人 : 苏州罗岛纳米科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 210008 江苏省南京市江宁区科学园芝兰路18号
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号中科院纳米所D栋918室
2019-02-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C12Q 1/6869
申请日 : 20180907
申请日 : 20180907
2019-01-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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