一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置
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摘要

本发明公开了一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,包括超声波清洗机、风干框、风扇机、高温高压老化烤箱、控温操作面板、导轨、地面、圆杆、承载方板、条形侧板、清洗控制面板、支撑板、第一电动推杆、方体斗框、长方体框、第二电动推杆、圆弧条框、U型长板、第三电动推杆、网格板、单槽轮和伺服电机。本发明设计合理,实现了快速有序上料的功能,保证了待处理压电陶瓷基片摆放的整齐性,提高了工作效率,结构紧凑,实现将清洗的压电陶瓷基片全部取出的功能,适用于对批量压电陶瓷基片的清洗,运行稳定,具有驱动移动的功能,保证了处理操作的快速连续性,有利于将待老化处理的压电陶瓷基片快速移至放入烤箱内。

基本信息
专利标题 :
一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110970336A
申请号 :
CN201811133840.X
公开(公告)日 :
2020-04-07
申请日 :
2018-09-27
授权号 :
CN110970336B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
何龙施小罗
申请人 :
湖南嘉业达电子有限公司
申请人地址 :
湖南省常德市澧县张公庙镇盘山村一组2号
代理机构 :
长沙智德知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈铭浩
优先权 :
CN201811133840.X
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  H01L21/67  H01L41/22  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-03 :
授权
2020-05-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20180927
2020-04-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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