感测膜及其制备方法、电子装置
授权
摘要
一种感测膜，其包括：基底层；形成在所述基底层上的压电层；以及形成在所述压电层上的梳状的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极彼此间隔且电性绝缘。本发明还提供上述感测膜的制备方法及应用上述感测膜的电子装置。所述感测膜性能优良。
基本信息
专利标题 ：
感测膜及其制备方法、电子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109326709A
申请号 ：
CN201811177948.9
公开（公告）日 ：
2019-02-12
申请日 ：
2018-10-10
授权号 ：
CN109326709B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
陈右儒许建智
申请人 ：
业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区西区合作路689号
代理机构 ：
成都希盛知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨冬梅
优先权 ：
CN201811177948.9
主分类号 ：
H01L41/047
IPC分类号 ：
H01L41/047 H01L41/08 H01L41/187 H01L41/29 H01L41/35
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2019-03-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/047
申请日 : 20181010
申请日 : 20181010
2019-02-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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