编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器
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摘要

本发明提供能够一面实现低成本化、一面提高检测精度的编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器,另外,提供具备该编码器标尺的编码器、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。编码器标尺其特征在于,具备板状的基材、以及设于所述基材的一面并排列有第一区域和第二区域的光学图案,所述第一区域具有配置于所述基材上并构成为包括感光性树脂的树脂层、以及配置于所述树脂层上并由金属材料构成的金属膜,所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成,所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。

基本信息
专利标题 :
编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109724635A
申请号 :
CN201811264212.5
公开(公告)日 :
2019-05-07
申请日 :
2018-10-26
授权号 :
CN109724635B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
小西晃雄
申请人 :
精工爱普生株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
张永明
优先权 :
CN201811264212.5
主分类号 :
G01D5/347
IPC分类号 :
G01D5/347  G01D5/32  H01L21/306  H01L21/3065  
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置;将传感构件的输出变换成不同变量的装置,其中传感构件的形式和特性不限制变换装置;非专用于特定变量的变换器
G01D5/26
采用光学装置,即应用红外光、可见光或紫外光
G01D5/32
利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞
G01D5/34
利用光电元件检测光束
G01D5/347
利用位移编码度盘
法律状态
2022-04-15 :
授权
2020-08-28 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 5/347
申请日 : 20181026
2019-05-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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