编码器用反射型光学标尺和反射型光学式编码器
公开
摘要
本发明的主要目的在于提供一种编码器用反射型光学标尺，其能够充分降低在低反射区域的反射率。本发明通过提供一种编码器用反射型光学标尺来解决上述课题，该编码器用反射型光学标尺在基材上交替地配置有高反射区域和低反射区域，上述低反射区域包含低反射部，上述低反射部包含形成于上述基材上的金属铬膜、和以任意顺序形成于上述金属铬膜上的氧化铬膜和氮化铬膜，在上述高反射区域，从上述编码器用反射型光学标尺的与上述基材相反一侧入射的光的反射率高于上述低反射区域。
基本信息
专利标题 ：
编码器用反射型光学标尺和反射型光学式编码器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450553A
申请号 ：
CN202180005583.5
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-03-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
中泽伸介户田刚史小田直哉
申请人 ：
大日本印刷株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
王博
优先权 ：
CN202180005583.5
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01D5/347
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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