基于杂化型等离子共振增强的红外探测器
授权
摘要
本发明属于光电探测和传感技术领域，为解决现有技术中基于金属吸收的光探测器的制备成本偏高、光吸收不高和吸收波段调制困难的问题提出一种基于杂化型等离子共振增强的红外探测器，利用金属微纳米孔阵列层/半导体薄膜/金属薄膜复合结构构筑基于金属吸收的热电子红外探测器；通过激发顶层金属微纳米孔阵列的局域等离子共振、底层金属薄膜的表面等离激元，以及将两者耦合起来形成的杂化型等离子共振来极大增加金属对入射光的吸收，并将上下两层金属吸收光产生的热载流子均注入到中间半导体层，从而得到可观的光响应度；通过调控顶层微纳米孔的周期和直径、中间半导体层的厚度和折射率可以实现从近红外到中红外的可调光谱吸收。
基本信息
专利标题 ：
基于杂化型等离子共振增强的红外探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109659387A
申请号 ：
CN201811581248.6
公开（公告）日 ：
2019-04-19
申请日 ：
2018-12-24
授权号 ：
CN109659387B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
吴绍龙丁浩徐玉亭眭博闻张程秦琳玲李孝峰
申请人 ：
苏州大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区济学路8号
代理机构 ：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王利斌
优先权 ：
CN201811581248.6
主分类号 ：
H01L31/108
IPC分类号 ：
H01L31/108 H01L31/18
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2019-05-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/108
申请日 : 20181224
申请日 : 20181224
2019-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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