一种波导共振增强型光电探测器
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种波导共振增强型光电探测器，涉及一种光电探测器，尤其是涉及一种波导共振增强型光电探测器。提供一种可实现对入射光的有效限制和共振增强效应，提高器件的量子效率，同时使器件具有波长选择特性的一种波导共振增强型光电探测器，主要用于对近红外波段入射光的探测。设有脊型光波导、两个介质分布布拉格反射镜和电极，光波导生长在SOI衬底或硅单晶衬底上，作为吸收区，两个反射镜分别设于光波导两端，形成共振腔，电极端接光波导N型硅和P型硅。是一种高量子效率的Si基光电探测器，工作波长从可见光到近红外光。器件尺寸与RC时间大幅减小，在相同的量子效率下可得到更高的响应速度。吸收区厚度不受SiGe临界厚度和响应速度限制。
基本信息
专利标题 ：
一种波导共振增强型光电探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1794474A
申请号 ：
CN200510119710.7
公开（公告）日 ：
2006-06-28
申请日 ：
2005-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李成陈荔群
申请人 ：
厦门大学
申请人地址 ：
361005福建省厦门市思明南路422号
代理机构 ：
厦门南强之路专利事务所
代理人 ：
马应森
优先权 ：
CN200510119710.7
主分类号 ：
H01L31/103
IPC分类号 ：
H01L31/103
法律状态
2008-10-29 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-08-23 ：
实质审查的生效
2006-06-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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