保持装置
授权
摘要
本公开的一方面的保持装置具备在厚度方向的一方具有主面的保持基板，并且在所述保持基板的内部配置有通过通电而发热的发热部。所述发热部具备：在与所述保持基板的厚度方向正交的平面方向上配置的多个第一发热体及在所述厚度方向上配置于比所述多个第一发热体靠所述一方的主面侧处的第二发热体。所述多个第一发热体中的任一个第一发热体与所述第二发热体通过在所述保持基板内沿所述厚度方向延伸的第一通孔而电串联连接。
基本信息
专利标题 ：
保持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110235515A
申请号 ：
CN201880009146.9
公开（公告）日 ：
2019-09-13
申请日 ：
2018-01-31
授权号 ：
CN110235515B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
三轮要
申请人 ：
日本特殊陶业株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县名古屋市
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
熊传芳
优先权 ：
CN201880009146.9
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H01L21/02 H01L21/3065 H05B3/10 H05B3/74
相关图片
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2019-10-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05B 3/02
申请日 : 20180131
申请日 : 20180131
2019-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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