保持装置及保持装置的制造方法
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摘要
一种保持装置及保持装置的制造方法，该保持装置抑制由供电连接构件的电阻值的偏差引起的发热电阻器的发热量的偏差。保持装置具备：陶瓷构件，由以氮化铝为主要成分的陶瓷烧结体形成；金属制的发热电阻器，配置于陶瓷构件的内部；与发热电阻器接触的导电性的供电连接构；及与供电连接构件电连接的导电性的供电端子，该保持装置是将对象物保持在陶瓷构件的表面上的装置。供电连接构件的表面中除了与发热电阻器的接触面及与供电端子的连接面以外的表面的至少一部分被由氮化物形成的涂层覆盖，该氮化物含有Al、Ti、Zr、V、Ta和Nb中的至少1种。
基本信息
专利标题 ：
保持装置及保持装置的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111527790A
申请号 ：
CN201980007168.6
公开（公告）日 ：
2020-08-11
申请日 ：
2019-11-13
授权号 ：
CN111527790B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
坂卷龙之介高冈胜哉渡边洋史
申请人 ：
日本特殊陶业株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县名古屋市
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
任天诺
优先权 ：
CN201980007168.6
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H01L21/683 H05B3/10 H05B3/74
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2020-09-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05B 3/02
申请日 : 20191113
申请日 : 20191113
2020-08-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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