微机械传感器设备及相应的制造方法
授权
摘要
本发明涉及一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械传感器设备构型为具有：具有正侧(VS)和背侧(RS)的传感器衬底(2)；设置在正侧(VS)上的传感器区域(1)，所述传感器区域能够与周围环境介质接触；施加在正侧(VS)上的用于覆盖传感器区域(1)的封盖装置(4)。在封盖装置(4)和/或在传感器衬底(2)中形成有用于将周围环境介质传递到传感器区域(1)上的一个或多个毛细管(3)，其中，在毛细管(3)的内壁(I)上至少局部地设有疏液层(5)。
基本信息
专利标题 ：
微机械传感器设备及相应的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111051839A
申请号 ：
CN201880058020.0
公开（公告）日 ：
2020-04-21
申请日 ：
2018-06-27
授权号 ：
CN111051839B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
T·林德曼F·罗尔夫林C·德林T·弗里德里希C·舍林J·肯特纳
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭毅
优先权 ：
CN201880058020.0
主分类号 ：
G01L19/00
IPC分类号 ：
G01L19/00 G01L19/06 B32B3/30 G01D11/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L19/00
用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件，就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-07-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 19/00
申请日 : 20180627
申请日 : 20180627
2020-04-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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