微机械压力传感器设备和相应的制造方法
授权
摘要
本发明涉及一种微机械压力传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械压力传感器设备配备有：第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的第一腔(4)；布置在所述第一膜片(3)中和/或上的第一弯曲感测装置(6)，该第一弯曲感测装置用于感测所述第一膜片(3)的由于作用在该第一膜片上的外部压力变化并且由于所述压力传感器设备的内部机械弯曲所引起的弯曲；第二膜片(9)和邻接到该第二膜片上的第二腔(5)；和布置在所述第二膜片(9)中和/或上的第二弯曲感测装置(11)，该第二弯曲感测装置用于感测所述第二膜片(9)的由于所述压力传感器设备的所述内部机械弯曲所引起的弯曲；其中，所述第二膜片(9)这样构型，使得所述第二膜片不能由于所述外部压力变化而弯曲。
基本信息
专利标题 ：
微机械压力传感器设备和相应的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111164400A
申请号 ：
CN201880064494.6
公开（公告）日 ：
2020-05-15
申请日 ：
2018-07-20
授权号 ：
CN111164400B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
R·毛尔F·霍伊克
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
侯鸣慧
优先权 ：
CN201880064494.6
主分类号 ：
G01L9/00
IPC分类号 ：
G01L9/00 G01L9/02 G01L9/04 G01L13/02 G01L15/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2020-08-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 9/00
申请日 : 20180720
申请日 : 20180720
2020-05-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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