制造压力传感器的方法
专利权的终止
摘要
一种制造压力传感器的方法，包括如下步骤：制备半导体基底(21)；在基底(21)上形成绝缘膜(22)；在绝缘膜(22)上形成第一金属膜(23)；在第一金属膜(23)和绝缘膜(22)上形成第一保护膜(25)；在第一金属膜(23)和第一保护膜(25)上形成第二保护膜(26)；在第二保护膜(26)上进行附着力减小处理，附着力是在第二保护膜(26)和第二金属膜(24，27－29)之间；在第一金属膜(23)以及第一保护膜(25)上形成第二金属膜(24，27－29)；以及去除一部分第二金属膜(24，27－29)。
基本信息
专利标题 ：
制造压力传感器的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1808086A
申请号 ：
CN200610005464.7
公开（公告）日 ：
2006-07-26
申请日 ：
2006-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
富坂学渡边善文田中宏明
申请人 ：
株式会社电装
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
蔡洪贵
优先权 ：
CN200610005464.7
主分类号 ：
G01L9/04
IPC分类号 ：
G01L9/04
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
G01L9/04
电阻应变仪的
法律状态
2015-03-18 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101601601738
IPC(主分类) : G01L 9/04
专利号 : ZL2006100054647
申请日 : 20060117
授权公告日 : 20081112
终止日期 : 20140117
号牌文件序号 : 101601601738
IPC(主分类) : G01L 9/04
专利号 : ZL2006100054647
申请日 : 20060117
授权公告日 : 20081112
终止日期 : 20140117
2008-11-12 ：
授权
2006-09-20 ：
实质审查的生效
2006-07-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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