设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供了设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法。设置有微结构的柔性压力传感器传感器本体(1)与微结构(2),在传感器本体(1)所处的三维空间中,传感器本体(1)的受压方向垂直于传感器本体(1)的底面,传感器本体(1)与微结构(2)在传感器本体(1)的底面所在平面的正投影不重叠,且在受压方向上,微结构(2)的受压面的顶点高于或平齐于传感器本体(1)的受压面的顶点,使得传感器本体(1)受到压力时,微结构(2)能够分担压力。设置有微结构的柔性压力传感器的制造方法包括准备传感器,传感器为柔性压力传感器;准备微结构(2);将传感器与微结构(2)连接为整体。
基本信息
专利标题 :
设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114414108A
申请号 :
CN202210053265.2
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
冯雪张瑞平王鹏
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
北京市海淀区清华园1号
代理机构 :
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘新宇
优先权 :
CN202210053265.2
主分类号 :
G01L1/18
IPC分类号 :
G01L1/18 G01L1/14 G01L1/16 G01L9/06 G01L9/08 G01L9/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质,即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/18
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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