一种微结构的制造方法包括下列步骤：提供一基板；于该基板上形成一光致抗蚀剂层；于该光致抗蚀剂层之上提供一第一光掩模，该第一光掩模具有至少一不透光区与至少一第一透镜；提供一光源透过该第一光掩模而照射该光致抗蚀剂层；去除部分该光致抗蚀剂层，使该光致抗蚀剂层形成至少一凹部，且该凹部具有一侧壁、一深度与一宽度，其中该侧壁的倾斜角度不小于5度，且该深度与该宽度的比值不小于2。