工件微结构加工方法及金刚石微结构工件

授权

摘要

本申请涉及一种工件微结构加工方法及金刚石微结构工件，通过控制激光发射装置将激光光斑照射至待加工的所述工件的待加工面，使得所述激光光斑按照第一预设轨迹运动，并使得加工平台按照第二预设轨迹运动，所述第二预设轨迹为以第一中心点为圆心的圆形轨迹，所述第一预设轨迹包括以多个不同的第二中心点为圆心的多个圆周运动轨迹；其中，所述第一中心点与多个不同的所述第二中心点根据所述激光发射装置的扫描振镜振动频率、扫描时间、所述第二预设轨、所述激光光斑的扫描速度映射转换成二维笛卡尔坐标数据，并将所述坐标数据曲线拟合得到。本申请的方法可以在金刚石工件上形成大长径比微柱结构。

基本信息

专利标题：

工件微结构加工方法及金刚石微结构工件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112296524A

申请号：

CN202011007335.8

公开（公告）日：

2021-02-02

申请日：

2020-09-23

授权号：

CN112296524B

授权日：

2022-04-29

发明人：

陈俊云张圣康靳田野

申请人：

燕山大学

申请人地址：

河北省秦皇岛市海港区河北大街438号

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

娜拉

优先权：

CN202011007335.8

主分类号：

B23K26/352

IPC分类号：

B23K26/352 B23K26/402