微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用
实质审查的生效
摘要
本发明涉及传感器技术领域,公开了微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用,微结构电容式柔性压力传感器包括上电极层、微结构介电层和下电极层,微结构介电层的上表面具有偶数的N阶矩阵分布的微结构,灵敏度预测方法通过在微结构介电层划分矩阵分布的大方块和小方块,并通过计算每个小方块的全局分布因素和局部分布因素对每个小方块所受的压强进行等效量化,之后通过每个小方块受到的压强计算整个微结构介电层的形变量,进而通过传感器的电容变化预测传感器的灵敏度,预测方法计算过程简单,准确率高,故有利于提高计算效率,且制备的经过优化后的传感器具有较高的灵敏度。
基本信息
专利标题 :
微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114486005A
申请号 :
CN202210064859.3
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
颜黄苹王子俊
申请人 :
厦门大学;厦门大学深圳研究院
申请人地址 :
福建省厦门市思明区思明南路422号
代理机构 :
厦门市宽信知识产权代理有限公司
代理人 :
李财龙
优先权 :
CN202210064859.3
主分类号 :
G01L1/14
IPC分类号 :
G01L1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化,例如,测量电振荡器的频率变化
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/14
申请日 : 20220120
申请日 : 20220120
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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