覆板及其使用方法
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摘要
公开了覆板及其使用方法。覆板的主体可用于在具有不均匀形貌的基板上形成自适应平坦化层。覆板的主体可具有非常适合于实现共形和平坦化行为二者的弯曲特性。主体可以具有表面和在t1到t2范围内的厚度，t1＝(Pd4/2Eh)1/3，t2＝(5Pd4/2Eh)1/3；P是对应于主体和平坦化前体材料之间的毛细力的压力；d是弯曲距离；E是主体的杨氏模量；并且h是基板的两个相邻区域之间的台阶高度差。在一个实施例中，厚度可以被选择和用于确定共形行为的最大面外位移wmax足够并且平坦化行为的wmax低于预定阈值。
基本信息
专利标题 ：
覆板及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110156343A
申请号 ：
CN201910110074.3
公开（公告）日 ：
2019-08-23
申请日 ：
2019-02-11
授权号 ：
CN110156343B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
D·L·拉布雷克N·昆斯纳特迪诺夫
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
宋岩
优先权 ：
CN201910110074.3
主分类号 ：
C03C17/42
IPC分类号 ：
C03C17/42 C08J7/04 G03F7/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/34
用至少两种不同成分的涂层
C03C17/42
至少1个有机材料的涂层和至少1个非金属涂层
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-04-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03C 17/42
申请日 : 20190211
申请日 : 20190211
2019-08-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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