用于清洗硅块的容器、装置及清洗方法
授权
摘要
本发明提供一种用于清洗硅块的容器、装置及清洗方法,用于清洗硅块的容器包括容器本体,所述容器本体内设有容纳腔,所述容纳腔包括用于放置硅块的清洗区域和该清洗区域之外的用于流通液体和释放反应热的空白区域。所述容器本体上设有与所述容纳腔连通的用于流通液体的第一通孔。根据本发明实施例的用于清洗硅块的容器能够有效的清洗容器内的硅块,可以均匀的清洗框内各硅块的表面,以及硅块与刻蚀液的反应热不能尽快的去除,影响硅块清洗效率和清洗成本的问题,提高了硅块的清洗效果。
基本信息
专利标题 :
用于清洗硅块的容器、装置及清洗方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109877098A
申请号 :
CN201910324164.2
公开(公告)日 :
2019-06-14
申请日 :
2019-04-22
授权号 :
CN109877098B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
宫尾秀一
申请人 :
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
许静
优先权 :
CN201910324164.2
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08 B08B13/00 C30B33/10 C30B29/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-04-15 :
授权
2021-10-26 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : B08B 3/08
登记生效日 : 20211013
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司
变更后权利人 : 西安奕斯伟材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
变更后权利人 : 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
变更事项 : 申请人
变更后权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司
登记生效日 : 20211013
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司
变更后权利人 : 西安奕斯伟材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
变更后权利人 : 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
变更事项 : 申请人
变更后权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司
2019-07-09 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/08
申请日 : 20190422
申请日 : 20190422
2019-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载